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10月18日，在2026年全國電子顯微學學術年會上，國儀量子正式發布自主研發的200kV場發射透射電鏡TEM-F200。以0.10nm信息分辨率、高靈敏度元素分析與自主研制的核心部件，讓國產透射電鏡走進材料科學與半導體的主戰場。這標志著國產高端透射電鏡從研制突破加快邁向產品化交付階段。
長期以來，全球透射電鏡市場由少數國際廠商主導。設備采購、關鍵部件供應、維修維護、軟件適配、應用服務—國內用戶的每一個環節，都長期依賴外部供給。高端透射電鏡實現國產化，不只是技術上的突破，更意味著把供應鏈的主動權握在自己手里。
錢花在配置上，不花在溢價上。
這是國儀量子為高端透射電鏡給出的答案。200kV場發射透射電鏡TEM-F200的推出，補上的正是這塊短板。不是多一個型號，而是讓國產透射電鏡走進材料科學與半導體的主戰場。
一臺透射電鏡的成像上限，往往由幾個關鍵部件決定。
自研高壓電源，加速電壓穩定性小于10ppm/h，加速高壓紋波小于0.5ppm；配高亮度場發射電子槍，低能散、高相干性，帶來更優信息極限。電壓穩、束流穩，后面的成像與分析才立得住。
恒功率水冷物鏡，線圈并組繞制實現功率恒定，無論激勵如何變化，透鏡溫度保持恒定；樣品臺為X/Y/Z/α四軸，配雙傾樣品桿可實現五軸，傾轉角α為±30°、β為±25°，標配單傾桿。
聚光鏡光闌、物鏡光闌、選區光闌全自動控制，集成于PC端，位置記憶、一鍵調整。
自主研制的“星耀-16M"光纖耦合CMOS相機：9μm像元CMOS傳感器，4K×4K像素，1:1光纖耦合，全分辨率最高幀率24fps；相機控制與圖像處理集成至電鏡主程序，采集與后處理在同一套軟件里完成。透射電鏡最核心的成像部件之一，國產有了專用方案。
產品優勢
200kV場發射透射電鏡
高分辨成像與高靈敏度元素分析，一臺機器兼顧。Super-EDS超大面積極譜采用對插式雙探頭，SDD總探測面積200mm2，無窗設計，能量分辨率≤127eV，元素分析又快又準。
關鍵部件，自主研制。主相機“星耀-16M"，正是國產首臺TEM專用光纖耦合CMOS相機：100%占空比與超低讀出噪音，合并像素后最高幀率優于96fps。核心部件自己掌握，供應鏈才穩。
人機分離，全流程自動。熒光屏相機畫面實時傳輸至PC顯示器，工程師不必守在鏡筒旁；高壓自動控制、電子槍自動啟停、整機狀態實時顯示、真空系統自動抽放氣、樣品位置自動導航、主相機與STEM探測器自動控制，操作更輕松。
拓展性留在設計里。原位樣品桿、冷凍組件、側插相機、EDS、EELS、旋進電子衍射，均可按需接入，隨課題一起成長。
服務，以標準化為準。全天候技術支持熱線；2小時內提供遠程技術指導；48小時內全國范圍上門服務；原廠正品備件快速更換。
案例：從半導體到先進材料
器件局部納米結構及晶格條紋細節清晰可見，FFT結果顯示分辨率達到了1.045?。
截面的明場透射圖像中，多層薄膜與介質層構成的器件結構層次分明。
TEM-BF（左）與STEM-HAADF（右）圖像，可見晶內析出相、不連續的晶界析出相及晶界無析出帶。
顆粒整體呈近圓形，外層可見非晶氧化層。
同期，國儀量子還發布了120kV場發射透射電鏡TEM-F120。它配備肖特基場發射電子槍，兼顧高襯度與高分辨成像；綜合換樣時間小于5分鐘，電鏡空間與工作空間分離，減少人為干擾，操作體驗舒適，更加適配生命科學、常規材料科研等場景。
2026年全國電子顯微學學術年會期間，歡迎蒞臨國儀量子展臺，近距離了解TEM-F200和TEM-F120的最新進展。
200kV場發射透射電鏡TEM-F200，預計12月起接收測樣申請。
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