中國科大SEM5000X順利通過驗收，繼續免費試運行

*本文轉載自中國科大理化科學實驗中心微信公眾號

（原標題：中心國產高分辨場發射掃描電子顯微鏡順利通過驗收）

近日，中國科大理化科學實驗中心電鏡影像平臺購置的國儀量子超高分辨場發射掃描電子顯微鏡SEM5000X在中心調試完畢，各項指標符合要求，順利通過專家組聯合驗收。該設備于11月22日投入試運行，試運行期間校內用戶免費。

驗收結束后，國儀量子代表正式遞交售后服務承諾書。

國儀量子原位高分辨場發射掃描電子顯微鏡

SEM5000X為國儀量子技術（合肥）股份有限公司自主研制的超高分辨場發射掃描電子顯微鏡，該設備具有穩定的電子光學系統，通過電子光學鏡筒設計優化，綜合像差大大降低，實現了超高分辨率。擁有鏡筒內高壓隧道模式，可在低壓下直接對高低起伏的不導電樣品進行高分辨成像。以其超高分辨率和高穩定性，可在先進納米結構和納米材料的研究、芯片半導體的研發制造等領域發揮其性能優勢，可觀察物體二次電子像、成分襯度像、電子通道襯度像，同時可進行X射線能譜分析、電子背散射衍射分析、原位微納米力學性能測試。配備了空氣敏感樣品轉移系統，可對空氣敏感樣品進行形貌、EDS及EBSD表征。